近年来，北大微电子研究团队在微纳电子器件、电路与微机电系统等领域取得了一系列国际领先水平的原创性成果，先后牵头和参与获得国家奖6项以及省部级科技奖17项。
牵头获得国家级、省部级奖励情况
序号 |
项 目 名 称 |
获奖人 |
获奖时间 |
获奖情况 |
获奖等级 |
1. |
硅基MEMS技术及应用研究 |
王阳元 张大成 郝一龙 闫桂珍 李婷 张海霞 |
2006 |
国家技术发明奖 |
二等 |
2. |
90纳米-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 |
王阳元 吴汉明 康晋锋 严晓浪 郝跃 徐秋霞 高大为 史峥 田立林 王漪 |
2008 |
国家科学技术进步奖 |
二等 |
3. |
纳米尺度硅基集成电路新器件与新工艺技术及其应用 |
黄如 张兴 张盛东 韩汝琦 刘晓彦 许铭真 |
2010 |
国家技术发明奖 |
二等 |
4. |
硅基MEMS技术及应用研究 |
王阳元 武国英 郝一龙 张大成 李婷 金玉丰 王兆江 张录 田大宇 李志宏 闫桂珍 王玮 |
2002 |
北京市科学技术奖 |
一等 |
5. |
90纳米-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 |
王阳元 吴汉明 康晋锋 严晓浪 郝跃 徐秋霞 黄如 史峥 张兴 田立林 马晓华 叶甜春 高大为 胡友存 居建华 |
2007 |
教育部高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）科学技术进步奖 |
一等 |
6. |
纳米尺度硅集成电路新器件与新工艺研究 |
黄如 张兴 刘晓彦 王阳元 张盛东 许铭真 康晋锋 于民 何燕冬 杜刚 许晓燕 廖怀林 孙雷 王金延 |
2008 |
北京市科学技术奖 |
一等 |
7. |
专用项目 |
金玉丰 王金延 田大宇 陈鸿飞 于民 张录 张大成 施伟红 邹鸿 |
2010 |
教育部高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）科学技术进步奖 |
一等 |
8. |
新型低功耗多栅MOS器件的实验与理论研究 |
黄如,王润声,张兴,王阳元 |
2015 |
教育部高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）自然科学奖 |
一等 |
9. |
专用项目 |
陈中建，于民，张雅聪，纪新明，金玉丰，李翔宇，鲁文高，田大宇，王玮，郭俊敏 |
2017 |
教育部高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）科学技术进步奖 |
一等 |
10. |
专用项目 |
高成臣（1）；郝一龙（7） |
2019 |
教育部高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）科学技术进步奖 |
一等 |
11. |
金属氧化物阻变机理与器件设计 |
康晋锋,高滨,黄鹏,刘力锋,刘晓彦 |
2019 |
教育部高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）自然科学奖 |
二等 |
