集成微纳系统方向：
集成微纳系统系研究基于集成电路技术的微机电系统（MEMS）以及与物理、化学、生物等多学科交叉的新型集成微纳系统，研究内容涵盖微纳传感器、微纳执行器、微纳系统等领域，特别在物理量传感器（声矢量传感器、压电和超声 MEMS、惯性传感器）、生物微机电、微纳流控系统、MEMS 集成封装、柔性 MEMS 系统等方面开展了独具特色的研究。
系主任：李志宏
教学副系主任： 杨振川
科研副系主任： 卢奕鹏
教师（按姓氏排序）：
陈兢
高成臣
韩金池
郝一龙
金玉丰
李志宏
卢奕鹏
史田田
王路达
王玮
吴文刚
杨振川
于民
于晓梅
张海霞
张锦文
张威
赵前程
郑雨晴
张驰
