集成微纳系统系：
集成微纳系统系研究基于集成电路技术的微机电系统（MEMS）以及与物理、化学、生物等多学科交叉的新型集成微纳系统，研究内容涵盖微纳传感器、微纳执行器、微纳系统等领域，特别在物理量传感器（声矢量传感器、压电和超声 MEMS、惯性传感器）、生物微机电、微纳流控系统、MEMS 集成封装、柔性 MEMS 系统等方面开展了独具特色的研究。
系主任：李志宏
教学副系主任： 杨振川
科研副系主任： 卢奕鹏
教师（按姓氏排序）：
高成臣、韩金池、胡鸿杰、李志宏、卢奕鹏、史田田、王路达、王 玮、吴文刚、杨振川、于 民、于晓梅、张海霞、张锦文、张 威、赵前程、郑雨晴、张 驰
