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集成电路先进制造技术研究中心

集成电路先进制造技术研究中心是北京大学集成电路学院公共技术支撑条件和知识创新的重要组成部分,是开展学院科研和教学工作的重要基地,包括工艺实验室和测试实验室。工艺实验室包括燕园校区工艺研发平台和新燕园校区微纳工艺校级公共平台,超净间实验室总面积近4000平方米,具备局部百级、总体千级的超净环境,具有4/6/8吋兼容的CMOS、MEMS以及硅基兼容新材料器件加工制备的完整能力。测试实验室包括燕园校区、新燕园校区和亦庄集成电路高精尖中心等三个测试平台,总面积逾2500平方米,具有材料级、器件级、电路级以及系统级的测试及表征能力。研究中心服务于全校各个科研和教学单位,同时面向社会开放。


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