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首页 - 师资队伍 - 专职教师 - 集成微纳系统系 - 于民
专职教师
  • 姓名: 于民
  • 职称: 副教授,硕导
  • 办公电话: 010-62765795
  • 电子邮箱: yum@pku.edu.cn
  • 研究领域: 硅辐射探测器,半导体工艺TCAD

教育背景

2006年1月,北京大学微电子所,获得微电子学与固体电子学专业的理学博士学位。

1999年7月,北京师范大学低能核物理所,获得凝聚态物理专业理学硕士学位。

1996年7月,北京师范大学物理系,获得材料物理专业理学学士学位。

工作经历

1999年7月起,北京大学微电子所。

2016年10月 - 2017年10月,美国密歇根州立大学访问学者。

2021年7月起, 北京大学集成电路学院。

研究成果

主要从事硅辐射探测器技术和半导体工艺TCAD技术的研究,研究内容主要包括硅PIN结构探测器的低漏电、耐高压、高灵敏度的工艺和器件结构设计技术;硅和SiC等半导体材料的离子注入、高温退火、深刻蚀工艺的模型和仿真算法;新材料半导体器件及其抗辐照性能研究等内容。主持和参加了国家自然科学基金、国家重大专项、973等多项科研项目,先后发表学术期刊论文20余篇,学术会议论文40余篇,获得发明专利10项。获得2008年北京市科学技术奖,技术发明类一等奖,2009年和2016年,教育部科技进步一等奖,2018年国家技术发明二等奖。

地址:北京市海淀区颐和园路5号 微纳电子大厦

邮编:100871

电话:010-62751787


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