北大集成电路学院

专职教师

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专职教师

姓名：于民
职称：副教授，硕导
办公电话： 010-62765795
电子邮箱： yum@pku.edu.cn
研究领域：硅辐射探测器，半导体工艺TCAD

教育背景

2006年1月，北京大学微电子所，获得微电子学与固体电子学专业的理学博士学位。

1999年7月，北京师范大学低能核物理所，获得凝聚态物理专业理学硕士学位。

1996年7月，北京师范大学物理系，获得材料物理专业理学学士学位。

工作经历

1999年7月起，北京大学微电子所。

2016年10月 - 2017年10月，美国密歇根州立大学访问学者。

2021年7月起，北京大学集成电路学院。

研究成果

主要从事硅辐射探测器技术和半导体工艺TCAD技术的研究，研究内容主要包括硅PIN结构探测器的低漏电、耐高压、高灵敏度的工艺和器件结构设计技术；硅和SiC等半导体材料的离子注入、高温退火、深刻蚀工艺的模型和仿真算法；新材料半导体器件及其抗辐照性能研究等内容。主持和参加了国家自然科学基金、国家重大专项、973等多项科研项目，先后发表学术期刊论文20余篇，学术会议论文40余篇，获得发明专利10项。获得2008年北京市科学技术奖，技术发明类一等奖，2009年和2016年，教育部科技进步一等奖，2018年国家技术发明二等奖。