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专职教师

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    安霞
    蔡一茂
    程哲
    傅云义
    韩德栋
    贺明
    黄芊芊
    康晋锋
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    卢奕鹏
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专职教师
  • 姓名: 罗葵
  • 职称: 高级工程师
  • 办公电话: 010-62753130
  • 电子邮箱: kluo@ime.pku.edu.cn
  • 研究领域: 微纳米制造工艺研究

教育背景

1985.9至1989.7 北京大学就读微电子专业获学士学位

工作经历

1989.9-1990.11北京半导体器件五厂

1990.11-1993.2借调北京大学微电子所

1993.2-现在 北京大学集成电路学院

先后参加过双极器件和电路的工艺研制,MEMS结构刻蚀工艺研究,主要从事半导体工艺测试及刻蚀工艺研究,负责调研引进并管理实验室多台核心进口设备,先后参与多项院内承担的重大科研项目和实验室改建扩建工作。

研究成果

作为第一负责人完成高深宽比氧化硅刻蚀技术研究、基于MEMS技术的可调超宽禁带滤波器关键技术研究实验室基金项目,并获高深宽比玻璃刻蚀研究专利;参与完成纳米尺度硅微结构刻蚀技术研究、多种MEMS基础结构标准工艺研究、MEMS加工工艺研究等多项实验室基金和预研基金项目。

地址:北京市海淀区颐和园路5号 微纳电子大厦

邮编:100871

电话:010-62751787


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