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专职教师

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专职教师
  • 姓名: 刘鹏
  • 职称: 高级工程师,硕导
  • 办公电话: 010-62753130
  • 电子邮箱: 电子邮箱: pengliu@pku.edu.cn
  • 研究领域: 微纳加工技术

教育背景

北京大学 微电子学与固体电子学 博士

北京科技大学 物理电子学 硕士

工作经历

北京大学 微电子学与固体电子学 博士

北京科技大学 物理电子学 硕士

研究成果

Optimization of photoresist development and DRIE processes to fabricate high aspect ratio Si structure in 5 nm scale, J.M.M. 2019

Hard mask free DRIE of crystalline Si nanobarrel with 6.7nm wall thickness and 50:1 aspect ratio, IEEE MEMS 2015 (Best Paper Final List Award)

国际专利1项,国内专利2项

负责基金项目3项;技术负责NSFC重大研究计划1项,重点研发计划1项

地址:北京市海淀区颐和园路5号 微纳电子大厦

邮编:100871

电话:010-62751787


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