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专职教师

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首页 - 师资队伍 - 专职教师 - 集成电路先进制造技术研究中心 - 崔健
专职教师
  • 姓名: 崔健
  • 职称: 高级工程师
  • 电子邮箱: eric.cuijian@pku.edu.cn
  • 研究领域: 微纳惯性传感器、微纳工艺技术、复杂控制系统设计、精密信号处理技术

教育工作经历

2011年获得北京大学固体电子学与微电子学专业博士学位;2009-2010年 德国弗莱堡大学微系统研究所访问学者。2018年,加入北京大学微电子学研究院,任副研究员,高级工程师,现任北京大学集成电路学院院长助理、测试实验室主任。

研究成果

长期致力于微纳传感器件与系统的研究,在MEMS惯性器件、集成谐振器件、传感器微弱信号检测、精密信号处理电路、自动化修调设备及工艺等方面取得多项重要创新性成果。承担及参与国家重点研发计划、973项目、创新特区课题等项目十余项。发表国内外SCI/EI 期刊和学术会议论文60余篇,申请和授权国家发明专利20余项。

代表性论文

1. H. Hu, Z. Sun, C. Du, Q. Zhao*, Y. Jin and J. Cui*, "Activation Model of Nano Getter for MEMS Devices Based on Sandwich Structures of Au-Porous Ti-Dense Ti Film," in  Journal of Microelectromechanical Systems , vol. 34, no. 2, pp. 204-212, April 2025.

2. J. Cui and Q. Zhao, "Thermal Stabilization of Quality Factor for Dual-Axis MEMS Gyroscope Based on Joule Effect In Situ Dynamic Tuning," in IEEE Transactions on Industrial Electronics, vol. 71, no. 1, pp. 1060-1068, Jan. 2024.

3. Y. Liu, Q. Zhao, D. Zhang and J. Cui*, "Automatic Pico Laser Trimming System for Silicon MEMS Resonant Devices based on Image Recognition", IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing , 2023. doi: 10.1109/TSM.2023.3248617.

4. S. Chen, Q. Zhao and J. Cui*, "Effect of Proton Radiation on Mechanical Structure of Silicon MEMS Inertial Devices",  IEEE Transactions on Electron Devices , vol. 69, no. 9, pp. 5155-5161, Sept. 2022.

5. J. Cui and Q. Zhao, "A High-Performance Tactical-Grade Monolithic Horizontal Dual-Axis MEMS Gyroscope With Off-Plane Coupling Suppression Silicon Gratings”, IEEE Transactions on Industrial Electronics , vol. 69, no. 11, pp. 11765-11773, Nov. 2022.

6. J. Cui, Q. Zhao and G. Yan, "Effective bias warm-up time reduction for MEMS gyroscopes based on active suppression of the coupling stiffness", Microsyst & Nanoeng , vol. 5, (no. 1), pp. 18, 2019-01-01 2019.

7. J. Cui, G. Yan, Q. Zhao, "Enhanced temperature stability of scale factor in MEMS gyroscope based on multi parameters fusion compensation method", Measurement , 2019, 148(106947).

8. J. Cui and Q. Zhao, "120 ppm Quality Factor Thermal Stability from -40℃ to +60℃ of a Dual-Axis MEMS Gyroscope Based on Joule Effect Dynamic Control",IEEE MEMS 2023 , Munich, Germany, pp. 833-836.

9. J. Cui and Q. Zhao, "In-Situ Mode-Matching Control for a Single-Chip Horizontal Dual-Axis MEMS Gyroscope Based on Modulating Quadrature Coupling with Silicon Gratings",  IEEE Transducers 2021, Orlando, FL, USA , pp. 1198-1201.

10. J. Cui and Q. Zhao, "A Tactical-Grade Monolithic Horizontal Dual-Axis Mems Gyroscope Based on off-Plane Quadrature Coupling Suppression Silicon Gratings", IEEE MEMS 2021 , Gainesville, FL, USA, pp. 814-817.

招生信息

       欢迎对MEMS惯性传感器、微导航系统及应用感兴趣,喜欢广泛阅读、推导理论公式、自己动手设计和搭建设备的同学加入课题组。

地址:北京市海淀区颐和园路5号 微纳电子大厦

邮编:100871

电话:010-62751787


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