根据《上海市科学技术奖励规定》，经评审专家初评、复评、终评和上海市科学技术奖励委员会审定，上海市政府日前公布了2020年度上海市科学技术奖获得者名单。
集成电路学院张大成教授参与的项目“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”获得2020年度上海市科学技术发明奖一等奖（个人排名第3，单位排名第2）。该项目在国家973等项目支持下，针对我国长期存在的MEMS量产、检测和封装难等问题，产学研用结合，发明了系列MEMS芯片单面加工的规模制造关键技术，实现了传感器核心芯片规模制造的底层技术突破，对解决传感器芯片严重受制于人的卡脖子难题，具有显著的战略意义。
扭转式键合强度检测试验机结构电镜照片
