平台基地

测试实验室

测试实验室目前面积逾 700 m2,是北京大学集成电路学院公共技术支撑条件和知识创新的重要组成部分,是北京大学国家集成电路产教融合创新平台的重要实训基地,经过改造拓展后,目前拥有各类测试仪器设备 200 余台套,具有材料级、器件级、电路级以及系统级的测试及表征能力,主要包括全自动12英寸、半自动8英寸高低温探针台、极低温探针台、高真空探针台,可配合高精度半导体参数分析仪(如B1500 和4200等);集成电路测试系统93000、误码仪、网络分析仪、高频信号源和超高频示波器等高端芯片测试设备;冷热冲击机、高低温箱、振动台、大量程转台等环境和可靠性测试设备;还有大量针对电子材料,高频、高功率芯片以及微纳传感器的专用表征与测试设备,如拉曼光谱仪、原子力显微镜、高压探针台等。整个检测实验室能够提供完整的从分立器件到复杂芯片的测试分析能力,能够表征 10K ~ 500K 温度范围内的器件电学特性、捕获高达 110 GHz 频率的灵敏信号、实现最低 10aA 的噪声屏蔽,保障了集成电路前沿研究对高精度和高可靠性要求。


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