10月12日下午14时，由北京大学集成电路学院、集成电路高精尖创新中心、北京大学国家集成电路产教融合创新平台、集成电路科学与未来技术北京实验室、后摩尔时代微纳电子学科创新引智基地、北京大学校友会半导体分会联合主办的“未名·芯”论坛系列讲座第三十五期在线上线下成功同步举办。本期邀请到东南大学黄庆安教授为大家带来主题为“MEMS技术与产业发展”的报告。讲座由集成电路学院卢奕鹏副教授主持。共计340余人参加。

在报告中，黄庆安教授从半导体器件里程碑，MEMS里程碑，趋势和挑战四方面进行了介绍。按照时间发展，介绍了MEMS技术和产业发展，并从MEMS发展的侧面透析为什么美国的科研既有原创性，又能产出高科技产品。接着细讲了半导体器件制造里程碑：微电子、光电子、MEMS，其中MEMS器件如：压阻式压力传感器，谐振栅晶体管等，改变了人类敏感与控制外部世界的方式。特别地讲到了初创公司的成功案例，如：SiTime，以需求和问题为导向，实现了关键技术突破；Mallory公司，专精电容器，基于实验中的异常现象，原创性地发现了硅阳极键合。

接下来，黄教授讲到了一些MEMS器件的应用，例如压电MEMS可用于超声测距、指纹传感、超声医疗成像等；数字微镜器件，让电影从胶片转到数字时代；以及微波开关、RF MEMS、光栅光调制器、红外传感器、加速度传感器等等。并分析了在MEMS和传感行业，创客们常犯的错误和可借鉴的点。NovaSensor，作为一家初创公司，换道超车，将新技术晶圆键合应用于MEMS压力传感器；双面光刻存在对准误差，且背面刻蚀时间长，从而有了硅迁移技术和多孔硅上外延单晶硅。

最后，黄教授在报告中提出了趋势和挑战。对于趋势，着重介绍了关键技术要素：微型化、集成化、网络化、智能化。对于挑战：一是市场和制造，中国是市场消费的大国，而在制造方面所占份额很少；二是技术链，只是某一步特别好，是达不到产线要求的。

在报告的结尾，黄教授在总结中提到，原创思想和高科技产品是以问题为导向，是从生活观察中得到启发、在实验异常中得到新发现。我们要成为科学规律的第一发现者、技术发明的第一创造者、创新产业的第一开拓者、创新理念的第一实践者。

在提问环节，参会者踊跃发言，大家就“大的科学平台，是否是未来能解决真问题的必由之路，以及应该怎样运营”、“MEMS器件和相应的IC控制电路集成目前主要现状和难点”、“对于车用MEMS传感器有哪些方向和看法”等问题提问，黄教授进行逐一解答。

个人简介：

东南大学MEMS教育部重点实验室创建主任（2001-2018）。国家杰出青年科学基金获得者（2003）、教育部"长江学者奖励计划"特聘教授（2004）、IEEE Fellow（2016）。曾任“十二五”国家863计划微纳制造技术主题专家组召集人、“十五”国家863计划MEMS重大专项总体专家组成员。以第一获奖人获国家科技进步二等奖1项，教育部自然科学一等奖2项、技术发明一等奖1项，江苏省科学技术一等奖1项。