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首页 - 师资队伍 - 专职教师 - 赵前程
专职教师
  • 姓名: 赵前程
  • 职称: 正高级工程师
  • 所属系、中心: 集成微纳系统研究所
  • 办公电话: 010-62745160
  • 电子邮箱: zqc@pku.edu.cn
  • 研究领域: MEMS惯性技术,MEMS工艺

教育背景

1994-1998 哈尔滨工业大学 本科

1999-2007 北京大学工学院 博士


工作经历

2007-2021 北京大学信息科学技术学院 博后/工程师/高级工程师

2021-至今 北京大学集成电路学院 正高级工程师


研究成果

1. J.Cui, Q.Zhao* and G.Yan,Effective bias warm-up time reduction for MEMS gyroscopes based on active suppression of the coupling stiffness, MICROSYST NANOENG, vol. 5, (no. 1), pp. 18, 2019-01-01.

2. J. Cui, Guizhen Yan, Qiancheng Zhao*, Enhanced Temperature Stability of Scale Factor in MEMS Gyroscope Based on Multi Parameters Fusion Compensation Method, Measurement 2019.

3. Chunhua HE, Jimeng ZHANG, Qiancheng ZHAO*, Zhenchuan YANG , Dacheng ZHANG & Guizhen YAN. An electrical-coupling-suppressing MEMS gyroscope with feed-forward coupling compensation and scalable fuzzy control, Science China Information Sciences2017. Vol. 60 (4).

4. HE Chunhua,QC Zhao*,QW Huang,LT Lin,ZC Yang. A novel robust design method for the sense mode of a MEMS vibratory gyroscope based on Fuzzy reliability and Taguchi design, Science China Technological Sciences2017 60 (2) :317-324.

5. He CH, Liu DC, Zhao QC*, En YF, YangZC, Zhang DC, Yan GZ.  A novel narrow-band force rebalance control method for the sense mode of MEMS vibratory gyroscopes, Measurement, 2015, 62: 197~204.

6. C.H.He, Q.C.Zhao*, Q.W. Huang, A MEMS Vibratory Gyroscope with Real-time Mode- matching and Robust Control for the Sense Mode, IEEE Sensors J.2015,15 (4): 2069-2077.

7. Liu,Dachuan;He,Chunhua;Zhao,Qiancheng*;Yang,Zhenchuan;Hao,Yilong;Yan,Guizhen, Digital signal processing for a micromachined vibratory gyroscope based on a three dimensional adaptive filter demodulator, Measurement, 2014, 50(1): 198~202.

8. Jian Cui, Qiancheng Zhao*, Yinpeng Wang and Guizhen Yan,Shortening bias warm-up time with active control of the coupling stiffness for MEMS gyroscopes, TRANSDUCERS 2019, Berlin, Germany, 2019.6.23-2019.6.27.

9. Jian Cui,Qiancheng Zhao*,Zesen Bai,Guizhen Yan,AN 8PPM/°Ctemperature sensitivity of the scale factor in mems gyroscope based on multi parameters fusion compensation method, IEEE MEMS 2019 Seoul,Koera.

10. C.H.He; Y.P.Wang; Q.C.Zhao*, Research on the packaging reliability and degradation models of quality factors for a high vacuum sealed MEMS gyroscope, Transducers 2017, 2017.6.18-6.22.

11. M.J. Li; Y.P. Wang; Q.C.Zhao*;C.H.He; L.T.Lin; J.F.Yang; G.Z.Yan, Study on the influence induced by electrical couplingamong interconnection lines in MEMS gyroscopes, Transducers2017.

12. QiangQin,QianchengZhao*,FangYang, Dacheng Zhang, Guizhen Yan, A Novel Method to Measure the Sidewall Angle of MEMS Structures, IEEE SENSORS 2017.

13. Cui Jian; Zhao Qiancheng*, Bias thermal stability improvement of MEMS gyroscope with quadrature motion correction and temperature self-sensing compensation, MICRO & NANO LETTERS

14. Cui, Jian; Liu, Mengxia; Yang, Haibing; Li, Dong; Zhao, Qiancheng*, Temperature Robust Silicon Resonant Accelerometer with Stress Isolation Frame Mounted on Axis-Symmetrical Anchors, 33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2020

15. Liu, Meng-Xia; Qin, Qiang; Dong, Xian-Shan; Cui, Jian; Zhao, Qian-Cheng*, Characterization of thermal mismatch stress of micro-inertial devices based on silicon-glass bonding process, Optics and Precision Engineering 2020

16. Yang, Haibing; Cui, Jian; Zhao, Qiancheng*, A Wheeled Horizontal Dual-Axis MEMS Gyroscope Based on Single Proof Mass with Mechanical Coupling Suppression Silicon Gratings, 33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2020

17. J. Cui ; Q. Zhao*, A Tactical-Grade Monolithic Horizontal Dual-Axis Mems Gyroscope Based On Off-Plane Quadrature Coupling Suppression Silicon Gratings, MEMS 2021, pp.814-817.

18. 刘梦霞,赵前程*,崔健, 梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加速度计非线性振动特性, 光学精密工程, 2020(5).

19. 刘梦霞,秦强,董显山,崔健,赵前程*,基于硅-玻璃键合工艺的微惯性器件的材料热失配应力表征,光学精密工程,2020(8).


招生信息

对MEMS惯性器件有兴趣的同学欢迎加入本课题组,包括器件设计、工艺、封装、电路、测试等


地址:北京海淀颐和园路A号 邮编:000000

电话:010-00000000 邮箱:00000000@gse.pku.edu.cn


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