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首页 - 师资队伍 - 专职教师 - C - 崔健
专职教师
  • 姓名: 崔健
  • 职称: 高级工程师
  • 所属系、中心: 集成微纳系统研究所
  • 办公电话: 010-62758911
  • 电子邮箱: eric.cuijian@pku.edu.cn
  • 研究领域: 微纳惯性传感器、微纳工艺技术、复杂控制系统设计、精密信号处理技术

教育工作经历

2011年获得北京大学固体电子学与微电子学专业博士学位;2009-2010年 德国弗莱堡大学微系统研究所访问学者;随后在中国航天三院任高级工程师、副主任设计师,从事高精度导航级微惯性器件研究。2018年,加入北京大学微电子学研究院,任副研究员,高级工程师,现任北京大学集成电路学院院长助理、测试实验室主任。

研究成果

       崔健博士长期致力于微纳传感器件与系统的研究,在MEMS惯性器件、集成谐振器件、传感器微弱信号检测、精密信号处理电路、传感器控制系统设计、自动化测试等方面取得多项重要创新性成果。承担及参与国家重点研发计划子课题、973项目子课题、装发共性基金、航天创新基金及创新特区课题、装发“十二五”预研、“十三五”预研、探索一代等项目十余项,其中四项目结题获评优秀。近年来的主要研究方向是高端传感器产业化技术、微纳加工及封装技术,发表国内外SCI/EI 期刊和学术会议论文60余篇,申请和授权国家发明专利20余项。



代表性论文

1. J. Cui and Q. Zhao, "A High Performance Tactical-grade Monolithic Horizontal Dual-axis MEMS Gyroscope with Off-plane Coupling Suppression Silicon Gratings," in IEEE Transactions on Industrial Electronics, 2022. doi: 10.1109/TIE.2021.3127036.

2. Dong Li, Mengxia Liu, Qiancheng Zhao and Jian Cui*, “Phase noise modelling of MEMS resonant accelerometer with non-AGC-driven circuit”, J. Micromech. Microeng.,32 064001. https://doi.org/10.1088/1361-6439/ac628f

3. J. Cui, Q. Zhao and G. Yan, “Effective bias warm-up time reduction for MEMS gyroscopes based on active suppression of the coupling stiffness”, MICROSYST NANOENG, vol. 5, (no. 1), pp. 18, 2019-01-01 2019.

4. J. Cui, G. Yan, Q. Zhao, “Enhanced temperature stability of scale factor in MEMS gyroscope based on multi parameters fusion compensation method”, Measurement, 2019, 148(106947).

5. J. Cui, and Q. Zhao, “Bias thermal stability improvement of MEMS gyroscope with quadrature motion correction and temperature self-sensing compensation,” Micro & Nano Letters, 2020, 15(4), pp. 234-238.

6. J. Cui, Yang H, Li D, Song Z, Zhao Q., “A Silicon Resonant Accelerometer Embedded in an Isolation Frame with Stress Relief Anchor”, Micromachines. 2019; 10(9):571.

7. Li D, Zhao Q. and J. Cui*, “High-precision frequency measurement for microresonant sensors based on improved modified multi-phase clock method”, Review of Scientific Instruments, 92, 015004 (2021)

8. Bai, Z., J. Cui*, Zhao, Q., Yang, Z. and Yan, G., “Initial frequency split reduction of MEMS ring gyroscope based on cascaded springs geometrical compensation”. Electron. Lett., 2019, 55: 806-808.

9. S. Chen, J. Cui* and Q. Zhao, "Proton Radiation Effect On Mechanical Structure of Silicon Mems Gyroscopes,"  IEEE MEMS 2022, pp. 758-761.

10. M. Liu, J. Cui*, D. Li and Q. Zhao, "A 3 PPM/°C Temperature Coefficient of Scale Factor for a Silicon Resonant Accelerometer Based on Crystallographic Orientation Optimization," IEEE Transducers 2021, pp. 116-119.

11. J. Cui and Q. Zhao, "In-Situ Mode-Matching Control for a Single-Chip Horizontal Dual-Axis MEMS Gyroscope Based on Modulating Quadrature Coupling with Silicon Gratings," IEEE Transducers 2021, pp. 1198-1201.

12. J. Cui and Q. Zhao, "A Tactical-Grade Monolithic Horizontal Dual-Axis Mems Gyroscope Based on off-Plane Quadrature Coupling Suppression Silicon Gratings," IEEE MEMS 2021, Gainesville, FL, USA, pp. 814-817.

13. J. Cui, M. Liu, H. Yang, D. Li and Q. Zhao, "Temperature Robust Silicon Resonant Accelerometer with Stress Isolation Frame Mounted on Axis-Symmetrical Anchors," IEEE MEMS 2020, Vancouver, BC, Canada, pp. 791-794.

14. Yang, H., J. Cui *. and Zhao, Q., “A wheeled horizontal dual-axis mems gyroscope based on single proof mass with mechanical coupling suppression silicon gratings,” IEEE MEMS 2020, Vancouver, Canada, Jan. 18-22, pp. 749-752.

15. J. Cui, Q. Zhao, Y. Wang and G. Yan, "Shortening Bias Warm-Up Time with Active Control of the Coupling Stiffness for Mems Gyroscopes," IEEE Transducers 2019, Berlin, Germany, pp. 2041-2044.

16. J. Cui, Q. Zhao, Z. Bai and G. Yan, "An 8PPM/°C Temperature Sensitivity of the Scale Factor in MEMS Gyroscope Based on Multi Parameters Fusion Compensation Method," IEEE MEMS 2019, Seoul, Korea (South), pp. 696-699.

17. Z. Bai, J. Cui*, Q. Zhao, Y. Wang and Z. Yang, "Geometric Compensation of (100) SCS Vibrating Ring Gyroscope for Mode-Matching Achieving High Immunity to Fabrication Imperfections," IEEE Transducers 2019, Berlin, Germany, pp. 1858-1861.

18. J. Cui, C.H. He, Z.C. Yang, Z.Y. Guo, Y.L. Hao and G.Z. Yan, “Virtual Rate-Table Method for Characterization of Microgyroscopes”, IEEE Sensors Journal, vol 12, pp.2192-2198, 2012.

19. J. Cui, Z. Guo, Q. Zhao, Z. Yang, Y. Hao, and G. Yan, "Force Rebalance Controller Synthesis for a Micromachined Vibratory Gyroscope Based on Sensitivity Margin Specifications," Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 20, pp. 1382-1394, 2011.

20. J. Cui, Z. Y. Guo, Z. C. Yang, Y. L. Hao, and G. Z. Yan, "Electrical coupling suppression and transient response improvement for a microgyroscope using ascending frequency drive with a 2-DOF PID controller," Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 21, 2011.

21. J. Cui, X. Liu, Z. Guo, Q. Zhao, L. Lin, Z. Yang, Y. Hao, and G. Yan, "An experimental investigation on decoupling performance for a lateral axis micromachined gyroscope with varying environmental parameters," SCIENCE CHINA Technological Sciences, vol. 54, pp. 3415-3423, 2011.

22. J. Cui, X.Z. Chi, H.T. Ding, L.T. Lin, Z.C. Yang and G.Z. Yan, "Transient response and stability of the AGC-PI closed-loop controlled MEMS vibratory gyroscopes, " Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 19, Dec 2009.


招生信息

       欢迎对MEMS惯性传感器、微导航系统及应用感兴趣,喜欢广泛阅读、推导理论公式、自己动手设计和搭建设备的同学加入课题组。

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