北大集成电路学院

专职教师

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专职教师

教育背景

1990年9月-1994年7月，在山东大学半导体物理与器件专业学习，获学士学位；

1996年9月-1999年7月，在山东大学电力系统及其自动化专业学习，获硕士学位；

1999年9月-2002年7月，在中国科学院微电子研究所微电子学与固体电子学专业学习，获博士学位。

1994年7月-1996年8月，在山东省烟台市化工管理干部培训学校任教；

2002年7月至今，在北京大学从事教学和科研工作。

主要科研项目：（1）作为课题负责人，主持国家自然科学基金2项：电子束抗蚀剂calixarene的特性及其在纳米尺度电子束光刻中的应用研究；超浅结等离子体掺杂的分子动力学模拟研究。（2）作为技术骨干，参加973、863、电子预研等国家级项目6项，横向合作项目2项。发表多篇学术论文和专利。